自石墨烯问世以来,具有原子级厚度的二维材料家族(如过渡金属硫化物、黑磷、六方氮化硼等)因其电学、光学、热学和力学性质,引发了全球研究热潮。然而,如何实现这些材料的高质量、大面积、可控制备,是推动其从基础研究走向实际应用所面临的核心挑战与前沿领域。
目前,二维材料的制备主要遵循“自上而下”和“自下而上”两种技术路线,各有特点与应用场景:
一、自上而下法:机械剥离与液相剥离
1、机械剥离:使用胶带从块体晶体上反复剥离,可获得本征质量高的二维材料薄片,但尺寸小、产量极低,主要用于基础物性研究。
2、液相剥离:将块体材料在特定溶剂中通过超声或剪切力分散成层,可实现较大产量,适用于复合材料、浆料制备,但所得片层厚度不均且缺陷较多。
二、自下而上法:化学气相沉积
这是实现大面积、高质量二维材料制备的最有前景的路径。其原理是在高温衬底(如铜箔、蓝宝石)上,通过前驱体气体(如甲烷、金属有机源)的化学反应,使原子在衬底表面“原位”成核、生长为二维薄膜。

CVD技术的优势在于可制备晶圆级单晶或高质量多晶薄膜,可直接与现有半导体工艺兼容,为构建未来电子器件奠定了基础。先进的CVD技术还能通过等离子体辅助,有效降低生长温度,拓宽衬底选择范围。
尽管取得了显著进展,二维材料的可控制备仍面临诸多挑战:
1、大面积单晶制备:如何在非单晶衬底上实现大尺寸、无晶界的单晶薄膜生长是关键难题。
2、层数精确控制:实现特定层数(尤其是单层)的均匀、可控生长仍是研究热点。
3、无损转移技术:将生长的二维材料高质量地转移到目标功能性衬底上而不引入损伤或污染,是器件制备的瓶颈。
4、新材料的开发与规模化:探索超越MoS₂的新颖二维材料,并发展其可扩展的制备方法。
二维材料制备技术是连接其神奇物性与实际应用的桥梁。当前,该领域正从初期的探索走向精密的控制,从实验室的小样品迈向产业化的大规模生产。每一次制备技术的突破,都将为二维材料在下一代电子、光电子、柔性器件等领域的应用打开新的大门。