当前位置:首页 > 技术文章PECVD系统(等离子体增强化学气相沉积):低温高效薄膜制备的核心技术
在半导体、微纳加工、光学涂层和新能源材料等领域,高质量薄膜的制备是器件性能的基石。等离子体增强化学气相沉积系统,凭借其等离子体增强效应,实现了在相对低温下高质量薄膜的高效沉积,已成为先进制造与研发中的关键工艺装备。PECVD系统技术的核心在于利用等离子体活性。通过将反应气体(前驱体)在真空腔体中激发为等离子体状态,产生大量高活性的离子、电子和自由基。这些活性基团大大降低了化学反应所需的活化能,从而带来了两大核心优势:1、低温沉积能力:与传统热CVD需要数百摄氏度甚至上千度的基...微信扫一扫